Puhtaan tilan staattinen ohjaus
(1) Staattisen valvonnan perusperiaatteet
1 Määritä staattisen ohjauksen taso
2 Minimoi staattisen varauksen syntyminen
3 Tuuletus- ja neutralointimenetelmät nopeuttavat staattisen varauksen hajoamista ja estävät staattisen sähkön kertymistä
4 Suojaa tuote ESD-vaurioilta
(2) Määritä staattisen ohjauksen taso
1 Komponentit, komponentit ja laitteiden sähköstaattinen herkkyysluokka
Taso 1: alttiina 0-1999 V: n sähköstaattisen jännitteen vaurioille
Taso 2: alttiina vaurioille, jotka johtuvat staattisesta jännitteestä 2000-3999V
Taso 3: alttiina 4000-5999 V: n sähköstaattisen jännitteen vaurioille
Jos herkkä staattinen jännite on suurempi kuin 16000 V, antistaattisia toimenpiteitä ei tarvitse ottaa.
2 Sähköstaattisen suojauksen työskentelyalueen luokitus
Luokka A: Anna sähköstaattisen potentiaalin maadoittaa enintään ± 100 V
Luokka B: Anna sähköstaattisen potentiaalin maadoittaa enintään ± 1000 V
Todellisessa tekniikassa sähköstaattinen potentiaali on enintään 100V, 500V, 1000V ja muut staattisen herkän jännitteen tason 3 komponentit, komponentit ja laitteet.
(3) Minimoi staattisen varauksen syntyminen
Tämä on ensimmäinen askel kolmivaiheisen staattisen sähkön ohjaamisessa. Tässä puhtaassa työympäristössä parhaat toimenpiteet ovat:
1 Yritä käyttää samankaltaisia laitteita kosketuksen kitkaerotusprosessin aikana syntyvän sähköstaattisen varauksen vähentämiseksi;
2 Yritä käyttää staattista sähköä tai staattisia hajoavia materiaaleja käyttäviä laitteita kosketuskitkan erotteluprosessin aiheuttaman kertyvän staattisen varauksen vähentämiseksi;
3 Yritä vähentää tuotantoprosessia vähentämällä kosketus kitkaa ja muodostamalla staattinen varaus.
(4) Vapautuminen ja neutralointi
Tämä on toinen vaihe staattisen sähkön triodin ohjaamisessa. Mikroelektroniikan tuotannon puhtaan huoneen yleisin toimenpide on maadoitus, staattisen varauksen purkautuminen johtavilla tai hajoavilla materiaaleilla sekä staattinen varaus ionisoiduissa kuluttajissa.
1 maa
Puhdas huone on varustettava itsenäisellä sähköstaattisella maadoitusjärjestelmällä, mukaan lukien maadoitettu metalliverkon tukijärjestelmä ja tuotantolinjan työaseman (vaiheen) tukijärjestelmä. Niin, että kaikkien huoneiden laitteiden metallikotelo, mobiililaitteiden metallipidike, antistaattinen laite jne. Poistavat turvallisesti ja tehokkaasti maan päällä olevan staattisen varauksen, ja työntekijän sähköistys maadoitetaan rannehihnan läpi, ja antistaattiset kengät tai kantapään hihnat ovat antistaattisia. Maa on tuuletettu maahan. Maa, seinä, katto, väliseinä jne. Ovat kovasti maadoitettuja, ja laitteen kotelo, liikkuvat laitteet (auto, tuoli, hylly jne.), Työpöytä jne. Ovat pehmeitä maadoitettuja.
2 ionisaatio Xiao sähkö
On väistämätöntä, että on olemassa joitakin eristettyjä johtimia, joita ei voida maadoittaa puhtaan huoneen komponentteihin, piirilevyihin, tuotantolinjoihin ja työasemiin. Eristysdielektrisiä materiaaleja (kuten tavallisimpia muoveja) käytetään joissakin ympäristöissä usein ionisaatiokuluttajia. Paikallisesti hajotetaan näihin kohteisiin kohdistuva staattinen varaus ja useammin ilma-ionisaation avulla eristävässä väliaineessa ja eristetyssä johtimessa kuljetetun sähköstaattisen varauksen neutraloimiseksi.
3 johtavaa staattista ja staattista hajoavaa materiaalia
Johtavat materiaalit ja staattiset hajoavat materiaalit ovat myös hyviä staattisia varauksia, jotka johtavat sähköstaattiseen johtavuuteensa ja ovat turvallisempia kuin metallijohtimen vuoto. Niitä käytetään yleisesti lattiat, seinät, työpöydät ja liikevaihtosäiliöt. Antistaattiset laitteet, kuten pinsetit ja harjat.
(5) Suojaus ESD: tä vastaan, tuotteiden suojaaminen
Tämä on viimeinen vaihe staattisen sähkön kolmivaiheisessa ohjauksessa. Mikroelektroniikan tuotannon puhtaassa tilassa ESD: n estämiseksi sähköstaattisesti herkkiä osia tai komponentteja, PCB: itä, yksi menetelmä on tarjota asianmukainen maadoitus komponenteille ja komponenteille. Shuntti "hajottaa" tuotteessa olevan staattisen varauksen; toinen menetelmä on käsitellä sähköstaattisesti herkän laitteen pakkaus ja kuljetus sopivilla pakkausmenetelmillä ja -materiaaleilla. Nämä materiaalit suojaavat tehokkaasti varausta tunkeutumasta tuotteeseen ja vähentävät tuotteen liikkumista pakkauksessa sähköstaattisen varauksen aikaansaamiseksi.
Kansainvälisesti puolijohteet, litteät nestekidenäytöt, optoelektroniikka kehittyvät nopeasti, ja integraatio kasvaa ja kasvaa. Näyttöön tulee 8 "12" sirua, sirun halkaisijat ovat ohuempia ja ohuempia, ja antistaattiset vaatimukset nousevat ja nousevat, katso taulukko 4.
Yhdysvaltojen ESD-yhdistys on aloittanut ANS ESD S20.20-1999: n sähköstaattisen purkauksen ohjausteräksen tarkistamisen ja tehnyt muutoksia SSD: n sähköstaattisen herkkyyden luokitteluun, katso taulukot 5, 6 ja 7.
Tämä antaa komponentin käyttäjälle varoituksen siitä, että ympäristövalvontavaatimukset voidaan vaatia riippumatta siitä, valmistetaanko henkilö tai laite. Jos EPA-alueen sallittu jännite saavuttaa 25V, pelkään, että nykyiset antistaattiset laitteet, laitteet, työkalut ja tekniikka joutuvat toimimaan kovasti.