Sähköstaattinen suoja puolijohdetuotannossa
Puolijohteiden valmistusprosessissa staattisen sähkön estäminen ja hallinta on välttämätöntä. Jos staattisen sähkön estämistä ja hallintaa ei suoriteta, esiintyy sellaisia ongelmia kuin hiukkasten pilaantuminen, sähköstaattisen purkauksen aiheuttamat puolijohdevahingot ja niihin liittyvä laitteiden sammutus. Staattisen sähkön ehkäisy- ja ohjausohjelma puolijohteiden tuotantoprosessissa sisältää: maadoituksen, staattiset hajauttavat materiaalit ja ilmanionisaation neutralointi-ionit. Puolijohdeteollisuuden nopean kehityksen tuomien vaatimusten täyttämiseksi myös staattiset haihtuvat materiaalit ja ilma-ionisaattorit muuttuvat jatkuvasti.
Staattisen ohjauksen välttämättömyys puolijohdetuotannossa
Puolijohdetuotannon alalla on mahdotonta poistaa kokonaan staattisen sähkön kielteisiä vaikutuksia. Jopa staattisella suojauksella on vaikea ylläpitää korkeaa tuotteiden laatua ja tuottoa. Jos staattisesta ohjauksesta, hiukkasten pilaantumisesta, sähköstaattisen purkauksen vaurioista ja laitteiden vikaantumisesta puuttuu, nämä ongelmat ovat kuitenkin piialustojen ja valosakkien valmistuksessa, puolijohdetta edeltävässä puhtaassa tilassa ja loppupään prosesseissa, mukaan lukien kokoonpano, pakkaaminen ja lopullinen testaus ja lähetys. Se voi tapahtua milloin tahansa, mikä vaikuttaa vakavasti puolijohdetuotteiden laatuun.
Puolijohteiden staattinen ohjausmenetelmä
Puolijohteiden valmistusympäristössä olisi käytettävä johtimien ja staattisten haihtuvien materiaalien maadoitusta, joko etupuhtaassa huoneessa tai takakokeen, kokoonpanon ja pakkauksen yhteydessä. Maadoitus estää staattisen sähkön syntymisen eristetyissä johtimissa ja staattisissa haihtuvissa materiaaleissa. Jos nämä materiaalit kuljettavat staattista sähköä, ne voivat myös poistaa staattisen sähkön. Jokaisella johtavalla materiaalilla, mukaan lukien henkilöstö, laitteet, tehtaan pinnat (lattiat, seinät, katot ja työpinnat) ja tuotteilla, tulisi olla luotettava maadoitus. Nämä maadoitusliittimet tulisi tarkistaa säännöllisesti. Jotkut maadoittamattomat johtimet ovat yleensä staattisia purkauslähteitä.
Staattiset haihtuvat materiaalit hajottavat staattiset varaukset säilyttäen samalla tiettyjen eristemateriaalien ominaisuudet (kuten joustavuuden ja kemiallisen kestävyyden). Jos ne on luotettavasti maadoitettu, ne eivät säilytä staattista varausta. Joissakin sovelluksissa (kuten pöytätietokoneet tai testipistorasiat) nämä materiaalit voivat korvata johdinmateriaaleja. Näissä sovelluksissa ne voivat joutua kosketuksiin sähköstaattisesti ladattujen tuotteiden kanssa. Staattisten haihtuvien materiaalien suuri vastus (tyypillisesti alueella 10 ^ 4 - 10 ^ 11 ohmia) voi hidastaa varauksen liikkumisprosessia sähköstaattisen purkauksen vaurioitumistapahtumien estämiseksi. Staattiset haihtuvat materiaalit on tarkastettava ja testattava säännöllisesti. Monet näistä materiaaleista eivät ole yhteensopivia puhtaiden huoneiden kanssa, ja staattiset haihtumisominaisuudet muuttuvat ajan myötä, joten ne on valittava oikein niitä käytettäessä.