Ionipuhallinsovellus puolijohdeteollisuudessa


Puolijohdelaitteiden valmistustyöpajalla ultra-suuren mittakaavan integroidun piirin saanto pienenee suuresti pölyn adsorptiosta siruun. Tuotantotyöpajan toimijat käyttävät puhtaita haalareita. Jos ihmiskehossa on staattista sähköä, se imee helposti pölyä ja likaa, mikä vaikuttaa tuotteen laatuun, heikentää tuotteen suorituskykyä ja vähentää huomattavasti saantoa. Jos adsorboitujen pölyhiukkasten säde on suurempi kuin linjan leveys, ja kalvonpaksuus on alle, tuote todennäköisesti hävitetään. On välttämätöntä luoda sähköstaattinen suojajärjestelmä prosessointi- ja pakkausprosessissa. IC-pakkausten tuotantolinjalla on tiukempia vaatimuksia staattiselle sähkölle. Jotta varmistettaisiin tuotantolinjan normaali toiminta, puhtaan tehtaan antistaattisten rakennusmateriaalien yleinen koristelu ja puhtaan tehtaan saapuvan ja sieltä poistuvan henkilöstön laitteistotoimenpiteet antistaattiselle vaatteelle voi perustua asianomaisiin kansallisiin standardeihin ja yrityksen todelliseen tilanteeseen. Yhtiö on laatinut yritysstandardin tai erityisvaatimukset antistaattiselle pakkaukselle, joka vastaa pakkausvalmistuslinjan normaalia toimintaa. Ionipuhallinta tarvitaan myös staattisen sähkön kertymisen vähentämiseksi ja sen estämiseksi, että tuote pääsee tietämättään tunkeutumaan.

